一.激光干涉仪检测机床定位精度的方法

定位精度测量、重复定位精度测量和反向间隙测量统称为位置精度测量，又称之为线性测量。SJ6000激光干涉仪标配可以直接进行线性测量，一次测量即可得出上述三种误差。线性测量中目标位置的数据采集有【基于位置的目标采集】和【基于时间的目标采集】两种方式，普遍使用基于位置的目标采集方式：被测运动轴需设置若干个等距的定位点，当测长机的测头移动到设置的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000激光干涉仪进行当前点的数据采集。测量结果将会自动生成分析曲线，即可得到导轨的运行轨迹。

二.激光干涉仪对机床补偿方法：

在软件【记录管理】界面中，选择【分析标准】，点击确认【误差补偿】，绘制误差补偿图表，该表涵盖了每个设置定位点的补偿数据。SJ6000激光干涉仪可以直接将补偿数据通过通信线写入到测长机控制系统，达到精确补偿，从而有效地降低或消除测长机的位置测量误差。下图分别为测长机的导轨补偿前后的线性运行轨迹，其线性定位精度提高了一个量级，可谓是不可同日而语。

为了最小化振动作用并加强测量稳定性，SJ6000激光干涉仪的镜组应牢靠固定到所需的测量点上；磁力表座应直接吸住机床底座，避免吸装在机床护罩或机床盖等较薄弱的部分；确保吸装的表面平坦且没有杂质。